molbox1+

molbox RFM

正常工作溫度范圍

15～35°C

與molbox1相同

儲存溫度范圍

-25～35°C

與molbox1相同

正常工作壓力范圍

20～200kPa絕壓(3～30psia）；或

50～500kPa絕壓(7～70psia)上游；或

200～2000kPa(30～300psia），僅適用于molbox1+S。

與molbox1相同

總流量量程

<1～5,000 slm

與molbox1相同

入口連接：
  1E1-S 到 1E2-S
  2E2-S 到 2E3-S
  5E3-S 和 1E4-S

1/4in.   VCR?
  1/2in. VCR?
  1in. VCR? 或 1in. NPT

與molbox1相同

出口連接：
  5E1-S 到 2E3-S
  5E3-S、1E4-S

  16mm (3/4 in.) ISO-KF型真空法蘭盤
  40mm (1 1/2 in.) ISO-KF型真空法蘭盤

與molbox1相同

支持的氣體

氮氣(N₂)、干空氣、潮濕空氣、氬(Ar)、一氧化碳(CO)、氦(He)、氧氣(O₂)、二氧化碳(CO₂)、四氟化碳(CF₄)、乙烷(C₂H₆)、乙烯(C₂H₄)、三氟甲(CHF₃)、六氟乙烷(C₂F₆)、氫氣(H₂)、甲烷(CH₄)、一氧化二氮(N₂O)、丙烷(C₃H₈)、六氟化硫(SF₆)、丁烷(C₄H₁₀)、八氟環(huán)丁烷(C₄F₈)、氙氣(Xe)

與molbox1相同

流量測量

molbox1+

molbox RFM

范圍

取決于molbloc的尺寸和壓力校準(zhǔn)量程(請參閱molbloc-S量程表格)

與molbox1相同

所需背壓率

0.4～0.9，取決于雷諾數(shù)

與molbox1相同

校準(zhǔn)氣體

標(biāo)準(zhǔn)：干空氣

可選：N₂(取代標(biāo)準(zhǔn)空氣校準(zhǔn)或作為補(bǔ)充）、Ar、H₂、He、N₂O。

有關(guān)這些氣體和其他氣體在特定量程內(nèi)的可用性，請咨詢廠家。

* 濕空氣操作需要進(jìn)行干空氣校準(zhǔn)

與molbox1相同

molbloc-S 壓力校準(zhǔn)量程

低壓力(LP)：20～200kPa絕壓 (3～30psia)，上游

標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)：50～500kPa絕壓 (7～70psia)，上游

高壓力(HP)：200～2MPa 絕壓 (30～300psia)，上游

*  HP校準(zhǔn)僅適用于molbox1+S 終端

* 流量測試技術(shù)指標(biāo)在10%～100%  molbloc 量程內(nèi)有效

與molbox1相同

分辨率

±0.0015%FS

±0.01%讀數(shù)

精確度

讀數(shù)的±0.06％

±0.30%讀數(shù)

預(yù)測的穩(wěn)定度(一年期)

讀數(shù)的±0.05％

讀數(shù)的±0.2％

測量不確定度

讀數(shù)的±0.2％，特級校準(zhǔn)：±0.125%讀數(shù)

50～500kPa時，±0.5%讀數(shù)

1E1-S

KF   [sccm/kPa]：10

2E1-S

KF   [sccm/kPa]：20

5E1-S

KF   [sccm/kPa]：50

1E2-S

KF   [sccm/kPa]：100

2E2-S

KF   [sccm/kPa]：200

5E2-S

KF   [sccm/kPa]：500

1E3-S

KF   [sccm/kPa]：1000

2E3-S

KF   [sccm/kPa]：2000

5E3-S

KF   [sccm/kPa]：5000

每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容：

?molbloc-S流元素

?運輸和存儲箱

?用于上游連接的可重復(fù)使用的柔軟VCR O形圈；ISO-KF和安裝說明；

用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明

?標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，并具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

溢價的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體 - 咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。

1E4-S

KF   [sccm/kPa]：10,000

每個molbloc-S在交付時都附帶以下內(nèi)容：

?molbloc-S流量元素

?運輸和存儲箱

?用于molbloc上游連接的柔軟的，可重復(fù)使用的VCR O形圈；

用于molbloc下游連接的ISO-KF樣式定心環(huán)、夾具和超壓環(huán)；安裝說明

?處于標(biāo)準(zhǔn)壓力(SP)的標(biāo)準(zhǔn)不確定性校準(zhǔn)，具有空氣和經(jīng)認(rèn)證的校準(zhǔn)報告。

高度的不確定性、HP或LP壓力校準(zhǔn)以及其他可用的校準(zhǔn)氣體 - 咨詢機(jī)構(gòu)或工廠。

molbloc-S校準(zhǔn)選件

低壓20～200kPa（3～30psia），molbloc上游（指定溢價或標(biāo)準(zhǔn)）
標(biāo)準(zhǔn)壓力50～500kPa（7～70psia），molbloc上游（指定溢價或標(biāo)準(zhǔn)）
高壓 200～2000kPa（30～300psia），molbloc上游（指定溢價或標(biāo)準(zhǔn)）